Ст 104 ск рф: СК РФ Статья 104. Способы и порядок уплаты алиментов по соглашению об уплате алиментов КонсультантПлюс

Содержание

Ст. 104 СК РФ с Комментариями 2022-2023 года (новая редакция с последними изменениями)

1. Способы и порядок уплаты алиментов по соглашению об уплате алиментов определяются этим соглашением.

2. Алименты могут уплачиваться в долях к заработку и (или) иному доходу лица, обязанного уплачивать алименты; в твердой денежной сумме, уплачиваемой периодически; в твердой денежной сумме, уплачиваемой единовременно; путем предоставления имущества, а также иными способами, относительно которых достигнуто соглашение.

В соглашении об уплате алиментов может быть предусмотрено сочетание различных способов уплаты алиментов.

1. Одним из проявлений принципа свободы договора является возможность определять условия договора по усмотрению сторон (ст. ст. 1, 421 ГК РФ). Участники соглашения об уплате алиментов вольны в том числе избрать способ и порядок уплаты алиментов.

2. Способы уплаты алиментов перечислены в п. 2 комментируемой статьи. Перечень этот, во-первых, неисчерпывающий: стороны могут указать и иные способы. Во-вторых, соглашением может предусматриваться сочетание различных способов.

Итак, алименты могут выплачиваться:

Бесплатная юридическая консультация по телефонам:

8 (499) 938-53-89 (Москва и МО)
8 (812) 467-95-35 (Санкт-Петербург и ЛО)
8 (800) 302-76-91 (Регионы РФ)

1) в долях к заработку и (или) иному доходу плательщика алиментов. Это наиболее распространенный и привычный способ уплаты алиментов. Вероятно, прежде всего потому, что определение размера алиментов таким способом попросту логично и при отсутствии соглашения алименты взыскиваются по решению суда чаще всего именно таким образом;

2) в твердой денежной сумме, выплачиваемой периодически. Закон нередко предписывает (или допускает) взыскание алиментов в твердой денежной сумме (ст. ст. 83, 87, 91, 98 СК). Но, заключая соглашение об уплате алиментов, стороны могут избрать и иной способ определения размера алиментов. Если все же избирается именно этот способ, то чаще всего либо срабатывает стереотип (закон в соответствующем случае говорит о твердой денежной сумме), либо плательщик алиментов имеет нерегулярный, меняющийся заработок и (или) иной доход, получает заработок и (или) иной доход полностью или частично в натуре и т. д. (п. 1 ст. 83 СК и соответствующий комментарий).

Чаще всего предусматривается, что алименты выплачиваются ежемесячно. Но ничто не мешает установить в соглашении, что они должны выплачиваться еженедельно, ежеквартально, ежегодно и т.д.;

3) в твердой денежной сумме, уплачиваемой единовременно. Это чрезвычайно редкий способ уплаты алиментов. Может быть, потому, что алименты выплачиваются на содержание (кого-либо), а при этом способе уплаты оказывается разовая помощь;

4) путем предоставления имущества. Словосочетание «предоставление имущества» лишено четкого правового содержания. Соглашением об уплате алиментов может устанавливаться передача плательщиком алиментов имущества в собственность получателя алиментов. Причем может быть предусмотрен как разовый акт, так и периодическое наделение получателя алиментов правом собственности на какое-либо имущество (например, систематическое обеспечение продуктами питания и одеждой). Соглашением может предусматриваться предоставление какой-либо вещи в пользование получателя алиментов (безвозмездное или возмездное (например, на льготных условиях) и т. д.).

Денежные выплаты могут быть заменены выполнением работ, оказанием услуг и т.д.

Сочетание различных способов уплаты алиментов может быть самым разнообразным. Например, плательщик обязуется передать в собственность получателя алиментов какое-либо имущество и, кроме того, ежемесячно выплачивать определенную сумму (осуществлять уход, выполнять работы и т.д.).

3. В СК РФ содержится гл. 17, имеющая титул «Порядок уплаты и взыскания алиментов» (ст. ст. 106 — 120). Как представляется, в комментируемой статье о порядке уплаты алиментов по соглашению об уплате алиментов говорится в ином значении, нежели это закреплено в упомянутой главе. Определяя в соглашении порядок уплаты алиментов, стороны устанавливают процедуру (процедуры) исполнения плательщиком своих обязанностей, предусмотренных соглашением. Например, если плательщик должен периодически уплачивать определенную сумму, то в соглашении может указываться, что она в установленный срок передается получателю алиментов наличными денежными средствами или пересылается почтовым переводом и т. д. Если, предположим, плательщик алиментов обязался выполнять какие-либо работы, то в соглашении следует определить их существо, сроки выполнения, качественные характеристики и т.д. и т.п.

Статья 104 СК РФ и комментарии к ней

1. Способы и порядок уплаты алиментов по соглашению об уплате алиментов определяются этим соглашением.

Комментарий к статье 104 СК РФ

1. Содержание алиментного соглашения законодательством строго не регламентировано. Условие о способах и порядке уплаты алиментов определяется сторонами соглашения по собственному усмотрению.

Способ платежа представляет собой предусмотренный соглашением сторон принцип исчисления подлежащих уплате алиментов. В комментируемой статье предлагается примерный перечень типичных способов уплаты алиментов.

Наиболее распространенным и привычным способом является периодическая уплата алиментов в долях к заработку (иному доходу) обязанного лица или в твердой денежной сумме. Определение размера алиментов таким образом в наибольшей степени соответствует смыслу алиментных обязательств, поскольку главное предназначение алиментов — удовлетворение текущих потребностей алиментополучателя. Именно такой способ уплаты предусматривается семейным законодательством при взыскании алиментов в судебном порядке. Уплата алиментов в долевом отношении к доходу плательщика отвечает и интересам алиментообязанного лица, так как позволяет учитывать изменения в его заработной плате.

Значительно реже в алиментных соглашениях встречается единовременная уплата алиментов в твердой денежной сумме. Уплата алиментов единовременно может оказаться целесообразной, если одна из сторон выезжает в другую страну на постоянное место жительства или стороны не желают продолжать какие-либо отношения между собой и хотят разрешить все имущественные проблемы сразу. Твердая денежная сумма может быть использована для получения дохода, за счет которого получатель алиментов будет содержать себя. Однако единовременная уплата алиментов может повлечь за собой существенное нарушение интересов несовершеннолетнего или недееспособного получателя алиментов, не имеющего представления о сумме поступивших денежных средств, так как законные представители, располагая большой суммой денег, могут либо потратить их на собственные неотложные нужды, либо вложить их в рискованные финансовые операции, полагая, что это делается в интересах представляемых <1>.

———————————
<1> См.: Комментарий к Семейному кодексу Российской Федерации / Отв. ред. А.М. Нечаева. М., 2008. С. 320.

Неоднозначно специалистами расценивается и такой способ уплаты алиментов, как предоставление имущества. С одной стороны, передача в собственность получателя алиментов недвижимого или ценного движимого имущества может оказаться самым надежным способом обеспечения его интересов. В частности, получение в счет уплаты алиментов жилого помещения может избавить получателя алиментов от расходов по найму жилья. Передача имущества в аренду, в доверительное управление и т.п. может приносить его собственнику постоянный доход. Данный способ может быть привлекателен, например, для бывших супругов. При разделе общего имущества одному из них по взаимной договоренности может быть передана значительно большая доля в счет причитающихся ему алиментов. Такой метод уплаты алиментов характерен для законодательства некоторых зарубежных стран, где отсутствует строгое разделение между алиментами как средством материального обеспечения нуждающегося супруга и разделом имущества супругов. Перераспределение имущества супругов используется как альтернативный вид материального обеспечения и дополняет уплату содержания в виде периодических платежей или единовременной денежной суммы либо даже полностью их заменяет <1>. С другой стороны, передача имущества может оказаться и наиболее уязвимым способом уплаты алиментов. В особенности интересы получателя алиментов страдают при обстоятельствах, когда передается неликвидное имущество или происходит его случайная гибель <2>. Тем более передачей имущества следует считать передачу не только вещей, но также имущественных прав (прав требования), что может создавать дополнительные трудности. Кроме того, соглашение, предусматривающее этот способ уплаты алиментов, не всегда можно принудительно исполнить, так как может оказаться, что предусмотренного в соглашении имущества нет в наличии или оно обременено долгами, правами третьих лиц и т.п.

———————————
<1> См.: Хазова О.А. Брак и развод в буржуазном семейном праве. М., 1988. С. 149.
<2> См.: Князева Е.В. Принцип диспозитивности в регулировании алиментных обязательств // Российское и зарубежное обязательственное право (Проблемы теории и практики). М., 2000. С. 71.

Предоставление имущества может быть разовым, а возможно и периодическое наделение получателя алиментов правом собственности на какое-либо имущество (например, систематическое обеспечение продуктами питания и одеждой). Соглашением может предусматриваться предоставление какой-либо вещи лишь в пользование.

Не исключаются и иные способы уплаты алиментов (выполнение работ, оказание услуг и т.д.), а также сочетание различных способов.

2. Порядок уплаты алиментов взаимосвязан с избранным способом и предполагает согласование процедуры исполнения плательщиком своих обязанностей, предусмотренных соглашением. Установление порядка уплаты алиментов предполагает согласование срока (периода) платежа (еженедельно, ежемесячно, поквартально, раз в год, единовременно и пр.), место платежа (место жительства получателя или плательщика алиментов, переводом через предприятие связи, путем зачисления на банковский счет получателя), форму платежа (наличные средства, безналичный платеж, ценные бумаги, передача имущества, смешанная форма), порядок отчетности плательщика перед получателем и др. <1>. Если плательщик обязался выполнять какие-либо работы, то в соглашении следует определить их существо, сроки выполнения, качественные характеристики и т.д. и т.п.

———————————
<1> См.: Гражданское право: Учебник. Ч. III / Под ред. А.П. Сергеева, Ю.К. Толстого. М., 1998. С. 452.

Другой комментарий к статье 104 Семейного Кодекса РФ

1. Одним из проявлений принципа свободы договора является возможность определять условия договора по усмотрению сторон (ст. ст. 1, 421 ГК). Участники соглашения об уплате алиментов вольны в том числе избрать способ и порядок уплаты алиментов.

Итак, алименты могут выплачиваться:

2) в твердой денежной сумме, выплачиваемой периодически. Закон нередко предписывает (или допускает) взыскание алиментов в твердой денежной сумме (ст. ст. 83, 87, 91, 98 СК). Но, заключая соглашение об уплате алиментов, стороны могут избрать и иной способ определения размера алиментов. Если все же избирается именно этот способ, то чаще всего либо срабатывает стереотип (закон в соответствующем случае говорит о твердой денежной сумме), либо плательщик алиментов имеет нерегулярный, меняющийся заработок и (или) иной доход, получает заработок и (или) иной доход полностью или частично в натуре и т.д. (п. 1 ст. 83 СК и соответствующий комментарий).

Денежные выплаты могут быть заменены выполнением работ, оказанием услуг и т.д.

3. В СК РФ содержится гл. 17, имеющая титул «Порядок уплаты и взыскания алиментов» (ст. ст. 106 — 120). Как представляется, в комментируемой статье о порядке уплаты алиментов по соглашению об уплате алиментов говорится в ином значении, нежели это закреплено в упомянутой главе. Определяя в соглашении порядок уплаты алиментов, стороны устанавливают процедуру (процедуры) исполнения плательщиком своих обязанностей, предусмотренных соглашением. Например, если плательщик должен периодически уплачивать определенную сумму, то в соглашении может указываться, что она в установленный срок передается получателю алиментов наличными денежными средствами или пересылается почтовым переводом и т.д. Если, предположим, плательщик алиментов обязался выполнять какие-либо работы, то в соглашении следует определить их существо, сроки выполнения, качественные характеристики и т. д. и т.п.

Указатель авторов для тома 104, выпуски 1–6

Пропустить пункт назначения

другое| 01 декабря 2018 г.

Ж Параситол (2018) 104 (6): 733–736.

https://doi.org/10.1645/0022-3395-104.6.733

Взгляды
- Содержание артикула
- Рисунки и таблицы
- Видео
- Аудио
- Дополнительные данные
- Экспертная оценка
Делиться
- Facebook
- Твиттер
- LinkedIn
- MailTo
Инструменты
- Получить разрешения
- Иконка Цитировать Цитировать
Поиск по сайту

Цитирование

Указатель авторов для тома 104, выпуски 1–6. J Паразитол 1 декабря 2018 г.; 104 (6): 733–736. doi: https://doi.org/10.1645/0022-3395-104.6.733

Скачать файл цитаты:

Рис (Зотеро)
Менеджер ссылок
EasyBib
Подставки для книг
Менделей
Бумаги
КонецПримечание
РефВоркс
Бибтекс

панель инструментов поиска

Abbas, I.

Abbas, Q.

196

Abdel-Gabar, R.

359

Adán-Torres, B.

544

Adlard, R. D.

254

. , A. S.

310

АХМАД, Л.

310

АКБАР, Х.

79, 310

AL QURAISHY, S. A.

359

ALANAZI, A. D.

539

ALBUQUERQUE, G. R.

377

ALCANTARA, E. P.

550

ALI, A. H.

ALI, M. S.

Alonso-Díaz, M. A.

275

Aluja, A.

465

Alves, B. F.

377

Amery-Gale, J.

Amin, O. M.

39, 486

. , м.

168

ANDERSON, J. F.

302

ANDREADIS, T. G.

302

ANDRES, M. J.

221

APPLETON, C. C.

187

ARAFAT, N.

ARAÚJO, W. A. C.

433

ARCHER, C. E.

187

ASHRAF, K.

ATKINSON, S. D.

645

ÁVILA, R. W.

550

AYEDE, A. I.

639

AYINMODE, A. B.

639

BABKIN, I. V.

337

BALDISSERA, M. D.

BALLARD, B. M.

289

BALLARD, D. C.

289

BARATI, A.

413

BARNETT, S. K.

254

BARRETO, N. M. P. V.

433…

В настоящее время у вас нет доступа к этому содержимому.

У вас еще нет аккаунта? регистр

Просмотр ваших токенов

ВЧ-магнетронное напыление пленки оксида алюминия для пассивации поверхности пластин кристаллического кремния

На этой странице

АннотацияВведениеРезультаты и обсуждениеВыводыСсылкиАвторские праваСтатьи по теме

Пленки оксида алюминия были нанесены на подложки кристаллического кремния методом реактивного ВЧ-магнетронного распыления. Исследовано влияние параметров осаждения на пассивацию поверхности, повреждение поверхности, оптические свойства и состав пленок. Обнаружено, что надлежащая мощность распыления и однородное магнитное поле уменьшают повреждение поверхности кремниевых пластин от бомбардировки высокоэнергетическими ионами во время процесса и, следовательно, уменьшают плотность ловушек на границе раздела, что приводит к хорошей пассивации поверхности; относительно высокий показатель преломления пленки оксида алюминия полезен для улучшения пассивации поверхности. Затем была успешно приготовлена отрицательно заряженная пленка оксида алюминия. Характеристики пассивации поверхности были дополнительно улучшены после последующего отжига за счет образования SiO 9Интерфейсный слой 0263 x . Показано, что реактивное напыление является эффективным методом изготовления поверхностной пассивирующей пленки оксида алюминия для недорогих высокоэффективных кристаллических кремниевых солнечных элементов.

1. Введение

Пассивирование поверхности по-прежнему является одним из наиболее важных методов улучшения характеристик недорогих высокоэффективных промышленных солнечных элементов. Существуют две различные стратегии достижения поверхностной пассивации: (i) снижение плотности ловушек на границе раздела путем пассивирования оборванных связей, например, атомарным H или тонкой диэлектрической пленкой, такой как , что обычно называют химической пассивацией, и (ii ) так называемая полевая пассивация, при которой уменьшение концентрации неосновных носителей достигается за счет встроенного электрического поля [1].

Недавно пленка оксида алюминия продемонстрировала способность обеспечивать превосходную пассивацию поверхности кремниевых пластин и солнечных элементов как p-типа, так и n-типа с низким удельным сопротивлением [2–10] за счет высокой плотности фиксированного отрицательного заряда, который является одной из особых характеристик пленки оксида алюминия. Чтобы активировать поверхностную пассивацию пленки оксида алюминия, после процессов осаждения необходимо проводить отжиг независимо от методов осаждения. Доказано, что на границе кремния существует очень тонкий слой [5]. Этот межфазный слой имеет решающее значение для формирования фиксированного отрицательного заряда, а также для уменьшения плотности интерфейсных ловушек, что является двумя подходами к реализации отличной пассивации.

Среди множества методов, используемых для изготовления пленки оксида алюминия, атомно-слоевое осаждение (ALD) оказалось методом, обеспечивающим выдающуюся поверхностную пассивацию лабораторных высокоэффективных солнечных элементов [4, 11]. Однако низкая скорость осаждения и дороговизна метода АСО ограничивают его применение в крупносерийном производстве [1, 4]. Таким образом, мы предложили новый метод, использующий устройство для нанесения покрытия методом магнетронного напыления с радиочастотным напылением, который гарантированно устраняет оба недостатка метода ALD. Поскольку поверхностная пассивация реактивной напыленной пленки оксида алюминия в основном ограничивается высокой плотностью межфазных ловушек, в то время как фиксированный отрицательный заряд напыленных пленок подобен заряду, нанесенному методом АСО [7, 9]., 10], надлежащие параметры распыления, например, надлежащая мощность распыления, могут уменьшить повреждение поверхности, вызванное бомбардировкой высокоэнергетическими ионами во время процесса, и привести к уменьшению плотности ловушек на границе раздела.

В настоящей работе мы варьировали мощность ВЧ-распыления при напылении пленок оксида алюминия. Время жизни неосновных носителей было измерено для исследования характеристик пассивации поверхности. Кроме того, фотолюминесценция (ФЛ), показатель преломления и XPS также были реализованы для характеристики свойств пленок оксида алюминия.

2. Детали эксперимента

Была приготовлена партия мм ² (100) кремниевых пластин Чохральского р-типа с удельным сопротивлением 1–3 Ом см. Пластины подвергались 5-минутному травлению после повреждения пилой, погружению в ВЧ и промывке деионизированной водой перед ВЧ-осаждением. Пленки оксида алюминия осаждали в установке для нанесения покрытия методом ВЧ-магнетронного напыления, оснащенной катодом Omat и блоком питания Huettinger electronic PFG 5000 RF. Катод выполнен с плоским кольцевым источником постоянного магнита. А 9Мишень из алюминия 9,99 % радиусом 100 мм и толщиной 5 мм реактивно напылялась 1 см3/мин O ₂ и 10 см3/см Ar при давлении 0,6 Па. ВЧ-мощность варьировалась от 600 до 1600 Вт, с постоянным напряжением собственного смещения около 170–220 В. Скорость осаждения при различной мощности распыления представлена в таблице 1. На все образцы были нанесены пленки оксида алюминия толщиной около 50 нм на обе стороны пластин при комнатной температуре, чтобы создать симметричная структура времени жизни для тестирования времени жизни неосновных носителей. А доотжиг проводили в кварцевой трубчатой печи при 500°С в N ₂ при комнатной температуре в течение 30 мин.

Время жизни неосновных носителей в образцах было измерено с помощью микроволнового затухания фотопроводимости ( μ -PCD) с использованием Semilab WT2000 для получения карт времени жизни неосновных носителей. Изображения ФЛ были получены для анализа повреждения поверхности пластин, напыленных при различной мощности распыления, с использованием универсального тестера FL-B01 EL&PL корпорации 3i systems. Чтобы охарактеризовать тонкие пленки оксида алюминия, показатели преломления пленок были измерены с помощью n&k Technology n&k Analyzer 1200. Для анализа элементного состава и соотношения атомов в тонких пленках была проведена система рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS) ESCALAB 250. .

3. Результаты и обсуждение

3.1. Влияние повреждения поверхности на пассивацию поверхности

Карты времени жизни неосновных носителей показаны на рис. 1 и показывают, что распределения времени жизни неосновных носителей этих пассивированных пластин CZ неравномерны. Для плоского кольцевого источника постоянного магнита наблюдается, что по мере увеличения мощности области с более высоким временем жизни неосновных носителей распространяются вдоль циклической кольцевой области, где плотность магнитной силовой линии выше, а распределение гораздо более равномерное, поэтому распыление обрабатывается наиболее часто и регулярно. Сравнивая карты времени жизни неосновных носителей с соответствующими изображениями фотолюминесценции на рисунке 1, можно обнаружить, что области с более высоким временем жизни неосновных носителей намного ярче во всех образцах, что показывает, что эти области меньше повреждаются поверхностью высокоэнергетическими ионами во время распыления.

На рис. 2 показано изменение мощности распыления в процессе напыления для достижения соответствующего времени жизни неосновных носителей, усреднение по площади пластины согласно рис. 1, а также зависимость между мощностью и максимальными значениями измеренного времени жизни неосновных носителей с WT2000 для всех образцов. Показано, что образец, осажденный ВЧ-магнетронным напылением оксида алюминия при 1000 Вт, имеет наибольшее среднее время жизни 29,443 мкс с, а максимальное время жизни достигает 134,59 мкс с, в то время как другое среднее время жизни составляет около или меньше 10 мкс с, а максимальное время жизни меньше 50 мкс с. Как показано на изображении ФЛ на рис. 1(c), самая яркая область во всех образцах распространяется в кольцевой области, где находится самое высокое время жизни неосновных носителей.

Таким образом, правильная мощность распыления и однородное магнитное поле уменьшают повреждение поверхности высокоэнергетическими ионами во время распыления, следовательно, уменьшают плотность ловушек на границе раздела и приводят к лучшему качеству пассивации.

3.2. Влияние оптических свойств на пассивацию поверхности

Показатель преломления пленки в определенной степени указывает на качество тонкой пленки. Таким образом, установление связи между показателем преломления пленки оксида алюминия и временем жизни неосновных носителей полезно для выяснения того, как качество тонкой пленки влияет на пассивацию поверхности. Как показано на рисунке 3, тренд показателя преломления примерно соответствует времени жизни неосновных носителей. Наибольший показатель преломления составляет 1,584 при мощности распыления 1000 Вт, где достигается наибольшее время жизни неосновных носителей. Но он ниже 1,65, который обычно называют показателем преломления аморфного Al 9.0263 2 О ₃ [9].

На рис. 4 показаны время жизни неосновных носителей и показатель преломления в зависимости от радиуса пластины, пассивированной ВЧ-напылением оксида алюминия при 1000 Вт и после 30 мин отжига при 500°C в среде N ₂. Зеленая кривая представляет собой линейное сканирование отображения времени жизни неосновных носителей вдоль пунктирной линии, как показано на рисунке 1(c). Получено, что максимальное время жизни неосновных носителей в радиусе около 50 мм составляет около 75 мкс с. Показатели преломления, измеренные вдоль пунктирной линии на рис. 1(в) на радиусах 0, 25 мм, 50 мм, 65 мм, 75 мм и нанесенные на рис. 4, показывают, что показатели преломления пленки также приблизительно совпадают. с временем жизни неосновных носителей, как и в ситуации, рассмотренной ранее. Мы получили наибольший показатель преломления 1,584 на радиусе 50 мм, где достигается наилучший результат по времени жизни неосновных носителей.

Что касается предыдущего обсуждения, это, вероятно, указывает на более высокий показатель преломления пленки оксида алюминия, проводящую гораздо более компактную структуру, и лучшее качество пленки, которая значительно более полезна для формирования фиксированного отрицательного заряда, а также для уменьшения плотности ловушек на границе раздела. . В результате достигается высокое время жизни неосновных носителей.

3.3. Влияние состава на структуру пленки

Для определения химического состава было проведено измерение профиля глубины пленки оксида алюминия с помощью XPS, нанесенной при радиочастотной мощности 1000 Вт и после отжига при 500°C в течение 30 мин в среде N ₂. распределение по толщине пленки и анализ границы между пленкой и кремниевой подложкой по времени травления. Отношение O/Al осажденной пленки, показанное на рисунке 5, составляет около 2,0, что больше, чем отношение Al 9.0263 2 O ₃ стехиометрия, равная 1,5, что, вероятно, приводит к более низкому показателю преломления 1,584, чем у аморфного Al ₂ O ₃ 1,65.

На рис. 6(а) показаны изменения в XPS-спектрах Si 2p пленки оксида алюминия, напыленной ВЧ-мощностью 1000 Вт, после осаждения и после 30 мин отжига при 500°C в среде N ₂, которые были зарегистрированы. при времени травления 780 с. Пики Si ⁰, относящиеся к подложке Si p-типа, наблюдаются при 99 и 99,5 эВ для обоих спектров; широкие пики, появляющиеся в диапазоне от 101,5 до 105 эВ, относятся к различным соединениям Si, подогнанным синтетической пиковой моделью, показанной на рисунке 6 (b), и характерны для образования для энергии остовного уровня 103,3 эВ компонента Si ⁴⁺, соответствующего к SiO ₂ . Для отожженной пленки оксида алюминия отсчеты широкого пика, представляющего образование от 101,5 до 105 эВ, увеличиваются, что указывает на то, что больше образуется в межфазном слое и улучшается уровень пассивации поверхности после постотжига.

Как сообщалось в литературе [2–10], межфазный слой имеет решающее значение для формирования фиксированного отрицательного заряда и уменьшения плотности межфазных ловушек. Для хорошей пассивации поверхности, полученной путем напыления пленки оксида алюминия при 1000 Вт после последующего отжига, предлагается доказательство существования межфазного слоя между оксидом алюминия и кремниевой подложкой, что в конечном итоге приводит к высокому уровню пассивации поверхности. Вертикальные пунктирные линии, как показано на рисунке 5, обозначают приблизительное расположение межфазного слоя между пленкой оксида алюминия и подложкой Si.

Известно, что методы ALD, включая термический ALD и ALD с плазменной поддержкой, обеспечивают наилучшую пассивацию поверхности за счет осаждения оксида алюминия, но методы ALD не являются лучшими методами для промышленного производства солнечных элементов, поскольку скорость осаждения ALD ограничена ниже 2 нм/мин [12]. Недавно была предложена пространственная концепция ALD со скоростью осаждения до 70 нм/мин [13], выполняемая в пространственной области, в то время как обычные циклы ALD выполняются во временной области. Но чрезвычайно дорогое оборудование по-прежнему является ограничением пространственного применения АСО в производстве промышленных солнечных элементов.

Напротив, ВЧ-магнетронное напыление тонкой пленки оксида алюминия толщиной 50 нм требует менее шести минут с помощью лабораторной системы в этом исследовании (см. Таблицу 1; скорость напыления при мощности распыления 1000 Вт составляет 8,997 нм/мин). Поскольку сообщается, что толщина пленки оксида алюминия может быть менее 30 нм [2, 4], осаждение тонкой пленки оксида алюминия может быть более быстрым, равномерным и на больших площадях в промышленных установках, например, при магнетронном распылении. система массивов. Низкая стоимость оборудования для напыления и выдающиеся характеристики пассивации поверхности указывают на то, что реактивное РЧ-напыление имеет огромный потенциал для переноса метода пассивации оксида алюминия в производство недорогих высокоэффективных солнечных элементов, что является наиболее важным подходом для промышленности. чтобы пройти через нынешний кризис тяжелого избытка производственных мощностей и сжатия спроса. Проанализировано влияние мощности напыления на пассивацию поверхности реактивного ВЧ-напыленного оксида алюминия. Другие параметры распыления будут изучаться в ходе дальнейших исследований; это необходимо для внедрения технологии в промышленное производство солнечных элементов.

4. Выводы

Как мы показали в этой статье, правильная мощность распыления и однородное магнитное поле приводят к меньшему повреждению поверхности пластин, что помогает уменьшить плотность ловушек на границе раздела; Пленка оксида алюминия с относительно высоким показателем преломления гораздо более способствует улучшению характеристик пассивации поверхности; в межфазном слое после постотжига обнаружено образование оксида алюминия, что необходимо для достижения хорошей пассивации поверхности пленкой оксида алюминия, напыленной ВЧ-магнетроном. Мы пришли к выводу, что правильные параметры напыления и формирование межфазного слоя имеют решающее значение для определения характеристик пассивации поверхности, обеспечиваемой пленкой оксида алюминия с реактивным ВЧ-магнетронным напылением, включая мощность напыления, рабочее давление и метод последующего отжига. Кроме того, поскольку ВЧ-магнетронное напыление удовлетворяет как требованиям низкой стоимости оборудования, так и высокой скорости осаждения, оно является эффективным методом пассивации поверхности и вполне подходит для производства недорогих высокоэффективных солнечных элементов.

Ссылки

Л. Т. Лян, «Технология пассивации поверхности полупроводниковых устройств», 1979.
Посмотреть по адресу:
Google Scholar Очень низкие скорости поверхностной рекомбинации на кремниевых пластинах p-типа, пассивированных диэлектриком с фиксированным отрицательным зарядом», Solar Energy Materials and Solar Cells , vol. 90, нет. 18–19, стр. 3438–3443, 2006.
Посмотреть по адресу:
Сайт издателя | Google Scholar
B. Hoex, JJH Gielis, MCM van de Sanden и WMM Kessels, «О механизме пассивации поверхности c-Si диэлектриком с отрицательным зарядом Al ₂ O ₃», Journal прикладной физики , вып.
104, ID статьи 113703, 7 страниц, 2008 г.
Посмотреть по адресу:
Сайт издателя | Google Scholar
J. Schmidt, A. Merkle, R. Brendel, B. Hoex, MCM van de Sanden и WMM Kessels, «Пассивация поверхности высокоэффективных кремниевых солнечных элементов с помощью атомно-слоевого осаждения Al ₂ O ₃ », Прогресс в фотогальванике: исследования и приложения , vol. 16, нет. 6, pp. 461–466, 2008.
Посмотреть по адресу:
Google Scholar
Г. Дингеманс, Н. М. Терлинден, М. А. Верхейен, М. К. М. ван де Санден и В. М. М. Кесселс, Si(100)/Al ₂ O ₃ с использованием сверхтонких прослоек SiO ₂, синтезированных методом атомно-слоевого осаждения», Журнал прикладной физики , том. 110, идентификатор статьи 093715, 6 страниц, 2011 г.

Посмотреть по адресу:
Сайт издателя | Google Scholar
С. Миядзима, Дж. Ирикава, А. Ямада и М. Конагай, «Пленки гидрогенизированного оксида алюминия, осажденные с помощью плазменного химического осаждения из паровой фазы для пассивации кристаллического кремния p-типа», в Proceedings of the the 23-я Европейская конференция по фотоэлектрической солнечной энергии , стр. 1029–1032, Валенсия, Испания, сентябрь 2008 г.
Просмотр по адресу:
Google Scholar
Т. Т. Ли и А. Куэвас, «Эффективная пассивация поверхности кристаллического кремния с помощью высокочастотного напыления оксида алюминия», Physica Status Solidi RRL , vol. 3, с. 16, 2009.

Посмотреть по адресу:
Google Scholar
Г. Дингеманс и В. М. М. Кесселс, «Недавний прогресс в разработке и понимании пассивации поверхности кремния оксидом алюминия для фотоэлектрических элементов», в Трудах 25-го Европейского Конференция по фотоэлектрической солнечной энергии , стр. 1083–1090, Валенсия, Испания, сентябрь 2010 г.
Просмотр по адресу:
Google Scholar
Т. Т. Ли, С. Раффелл, М. Туччи и др., «Влияние кислорода на распыление оксид алюминия для поверхностной пассивации кристаллического кремния», Solar Energy Materials & Solar Cells , vol. 95, нет. 1, стр. 69–72, 2011.
Просмотр по адресу:
Google Scholar
Т. Т. Ли и А. Куэвас, «Роль водорода в поверхностной пассивации кристаллического кремния распыленным оксидом алюминия»,
Прогресс в фотовольтаике: исследования и приложения , vol. 19, pp. 320–325, 2011.
Посмотреть по адресу:
Google Scholar
J. Benick, B. Hoex, MCM van de Sanden, W.M.M. Kessels, O. Schultz, and S.W. Glunz, “High efficiency n — Si солнечные элементы на Al ₂ O ₃ — пассивированные борные эмиттеры», Applied Physics Letters , vol.

Ст 104 ск рф: СК РФ Статья 104. Способы и порядок уплаты алиментов по соглашению об уплате алиментов \ КонсультантПлюс