Крф статья 29: Ст. 29 Конституции РФ с Комментариями. Последняя редакция с изменениями на 2022 год

Ст. 29 Конституции РФ и Комментарий к ней с последними изменениями на 2022 год

Текст Ст. 29 Конституции РФ в действующей редакции на 2022 год:

1. Каждому гарантируется свобода мысли и слова.

2. Не допускаются пропаганда или агитация, возбуждающие социальную, расовую, национальную или религиозную ненависть и вражду. Запрещается пропаганда социального, расового, национального, религиозного или языкового превосходства.

3. Никто не может быть принужден к выражению своих мнений и убеждений или отказу от них.

4. Каждый имеет право свободно искать, получать, передавать, производить и распространять информацию любым законным способом. Перечень сведений, составляющих государственную тайну, определяется федеральным законом.

5. Гарантируется свобода массовой информации. Цензура запрещается.

1. Мысль как результат и продукт мышления отражает познание окружающего мира и самого себя в этом мире, что воплощается в определенных представлениях, взглядах, мнениях, убеждениях. Свобода мысли характеризует духовную свободу человека, его внутренний мир, который сам по себе не может быть предметом правового регулирования. Вместе с тем мышление, мысль лежат в основе любой деятельности человека, обусловливают его социальную активность, взаимоотношения с другими людьми, обществом, государством, т.е. выражаются вовне. Формой мысли является ее языковое, словесное выражение (устное или письменное), другие знаковые системы общения, например художественные формы. Гарантирование Конституцией РФ каждому свободы мысли означает с точки зрения правовых требований невмешательство государства в процесс формирования и выражения собственных мнений и убеждений человека, защиту его от любого иного вмешательства, недопустимость какого-либо идеологического диктата, насилия или контроля над личностью.

Свобода слова — это гарантированная государством возможность беспрепятственно выражать свое мнение и убеждения по самым различным вопросам общественного, государственного, иного характера посредством устного или печатного слова, на собраниях, митингах, другими средствами. Право свободно выражать свое мнение, как это формулируется в международно-правовых актах, включает свободу придерживаться своего мнения и свободу искать, получать и распространять информацию и идеи любыми средствами без какого-либо вмешательства со стороны публичных властей и независимо от государственных границ (ст. 19 Всеобщей декларации прав человека, ст. 10 Международного пакта о гражданских и политических правах, ст. 10 Европейской Конвенции о защите прав человека и основных свобод). Свобода выражения мнения лежит в основе многих других прав и свобод, прежде всего таких, как права на участие в выборах, на петицию, на образование; свободы совести, творчества.

Бесплатная юридическая консультация по телефонам:

8 (499) 938-53-89 (Москва и МО)
8 (812) 467-95-35 (Санкт-Петербург и ЛО)
8 (800) 302-76-91 (Регионы РФ)

Конституции советского периода гарантировали свободу слова, печати в соответствии с интересами народа и в целях укрепления и развития социалистического строя и ничего не упоминали об интересах самой личности (например, ст. 50 Конституции СССР 1977 г.). Действующая Конституция РФ не ограничивает свободу мысли и слова какими-либо идеологическими или социально-общественными рамками. Напротив, конституционные нормы о свободе мысли и слова сформулированы в единстве с конституционными положениями о признании идеологического и политического многообразия, недопустимости установления какой бы то ни было идеологии в качестве государственной или обязательной (ст. 13 Конституции РФ).

Положения Конституции РФ о свободе мысли и слова соответствуют международно-правовым стандартам в этой сфере, установленным Всеобщей декларацией прав человека (ст. 18, 19), Международным пактом о гражданских и политических правах (ст. 18, 10), Европейской Конвенцией о защите прав человека и основных свобод (ст. 9, 10).

Свобода мысли и слова, выражения своего мнения чрезвычайно важна для реального проявления свободы человека. Но эта свобода не может быть абсолютной, безграничной. Слово, как главное средство человеческого общения, оказывает сильнейшее воздействие на сознание и поведение людей. Оно может созидать и разрушать, звать к социальному прогрессу и призывать к насилию, обогащать внутренний мир человека и унижать личное достоинство. Этим объективно обусловлена необходимость определенных нравственных и правовых ограничений, связанных с осуществлением свободы слова. В современный период ограничения в этой области установлены как на международно-правовом, так и на национальном уровнях.

2. В Российской Федерации не допускаются пропаганда или агитация, возбуждающие социальную, расовую, национальную или религиозную ненависть и вражду. Запрещается пропаганда социального, расового, национального, религиозного или языкового превосходства (ч. 2 ст. 29 Конституции РФ). Хотя эти конституционные запреты и сформулированы в общем виде, они дают определенный ориентир поведения при осуществлении рассматриваемой свободы. Их нарушение влечет за собой предусмотренную законом ответственность. Так, устанавливается уголовная ответственность за возбуждение национальной, расовой или религиозной вражды, унижение национального достоинства, а равно за пропаганду исключительности, превосходства либо неполноценности граждан по признаку их отношения к религии, национальной или расовой принадлежности, если эти деяния совершены публично или с использованием средств массовой информации.

Основанные на Конституции РФ запреты, касающиеся злоупотреблений свободой слова, а также соответствующие меры ответственности предусмотрены и в статьях Уголовного, Гражданского кодексов РФ, Кодекса РФ об административных правонарушениях. Так, в Уголовном кодексе установлена ответственность за публичные призывы к насильственному захвату власти, насильственному ее удержанию или насильственному изменению конституционного строя (ст. 280), к развязыванию агрессивной войны (ст. 354), за клевету и оскорбление (ст. 129, 130, 298), незаконное распространение или рекламирование порнографических материалов или предметов (ст. 242). В Кодексе РФ об административных правонарушениях содержится ответственность за опубликование информации, способной нанести ущерб чести, достоинству или деловой репутации зарегистрированного кандидата, при непредоставлении ему возможности обнародовать опровержение либо иное разъяснение в свою защиту (ст. 4013). В статье 152 ГК РФ предусматривается право гражданина требовать по суду опровержения порочащих его честь, достоинство или деловую репутацию сведений, если распространивший такие сведения не докажет, что они соответствуют действительности.

3. Конституционная свобода мысли и слова означает не только возможность беспрепятственно выражать свои мысли и убеждения, свое мнение, но и недопустимость принуждения к их выражению или отказу от них. Этот запрет, предусмотренный в ч. 3 ст. 29 Конституции РФ, обязаны соблюдать все — государственные органы, органы местного самоуправления, политические партии и другие общественные объединения, их должностные лица, все члены общества. Тем самым охраняется внутренний мир человека, гарантируется свободное развитие личности, в том числе, право менять свои убеждения, но не по принуждению, а по собственному выбору в процессе познания реальности, свободных дискуссий, обсуждения различных идей.

Особую актуальность в России в современный период приобретает проблема правильной трактовки соотношения между правом на достоинство, честь и доброе имя и свободой мысли и слова.

В свете сказанного интерес представляет позиция Конституционного Суда РФ, выраженная в Определении от 27 сентября 1995 г. , касающемся жалобы А.В. Козырева*(120). Поводом для жалобы послужило рассмотрение в одном из судов дела по иску В.В. Жириновского к НТВ и А.В. Козыреву о защите чести и достоинства. А.В. Козырев считал, что ст. 7 ГК РСФСР (как и ст. 152 нового ГК РФ) о судебной защите чести и достоинства не соответствует ст. 29 (ч. 1 и 3) Конституции РФ, гарантирующей каждому свободу мысли и слова, поскольку допускает возможность судебного опровержения любых сведений. По мнению заявителя, существуют определенные сведения, которые не могут быть предметом судебного опровержения, поскольку они являются выражением личного мнения и взглядов, оценочных суждений того, кто их распространяет, и принуждение к отказу от них — это вторжение в область «мысли и слова», «мнений и убеждений», охраняемых ст. 29 Конституции РФ.

4. Свобода мысли и слова гарантируется тем, что каждый имеет право свободно искать, получать, передавать, производить и распространять информацию любым законным способом. Другой гарантией является конституционное и законодательное закрепление свободы средств массовой информации и запрет цензуры (ч. 4 и 5 ст. 29 Конституции РФ, Закон РФ «О средствах массовой информации»). Свобода мысли и слова связана и с другими правами и свободами, возможность реализации которых создает институционально-организационные условия для надлежащего осуществления свободы выражения мнений и убеждений. Это, например, права на объединение, проведение публичных мероприятий, участие в управлении государственными и общественными делами.

Правовые аспекты применения института защиты деловой репутации субъектов предпринимательской деятельности в средствах массовой информации.

Статья 23 Конституции Российской Федерации предусматривает каждому право на защиту своей чести и доброго имени. Статьей 29 Конституции Российской Федерации каждому гарантируется свобода мысли и слова, а также свобода массовой информации-1. В соответствии с частью 4 статьи 15 Конституции Российской Федерации общепризнанные принципы и нормы международного права и международные договоры Российской Федерации являются составной частью ее правовой системы. Применительно к свободе массовой информации на территории Российской Федерации действует статья 10 Конвенции о защите прав человека и основных свобод, согласно части 1 которой каждый человек имеет право свободно выражать свое мнение-2. Это право включает в себя свободу придерживаться своего мнения, получать и распространять информацию и идеи без какого-либо вмешательства со стороны публичных властей и независимо от государственных границ. Вместе с тем, в части 2 статьи 10 Конвенции указано, что осуществление этих свобод, налагающее обязанности и ответственность, может быть сопряжено с определенными формальностями, условиями, ограничениями или санкциями, которые предусмотрены законом и необходимы в демократическом обществе в интересах национальной безопасности, территориальной целостности или общественного порядка, в целях предотвращения беспорядков или преступлений, для охраны здоровья и нравственности, защиты репутации или прав других лиц, предотвращения разглашения информации, полученной конфиденциально, или обеспечения авторитета беспристрастности правосудия. При этом положения данной нормы должны толковаться в соответствии с правовой позиции Европейского Суда по правам человека, выраженной в его постановлениях. Предусмотренные статьями 23 и 46 Конституции Российской Федерации право каждого на судебную защиту чести и доброго имени, а также установленные статьей 152 Гражданского кодекса Российской Федерации право каждого на судебную защиту чести, достоинства и деловой репутации от распространенных не соответствующих действительности порочащих сведений является необходимым ограничением свободы слова и массовой информации с целью исключения злоупотребления этими правами. Согласно части 5 статьи 152 Гражданского кодекса Российской Федерации гражданин, в отношении которого распространены сведения, порочащие его честь, достоинство или деловую репутацию, вправе наряду с опровержением таких сведений требовать возмещения убытков и морального вреда, причиненных их распространением. Правила данной статьи о защите деловой репутации гражданина применяются к защите деловой репутации юридического лица (часть 7 статьи 152 ГК РФ)-3. В современных условиях надлежащая защита деловой репутации хозяйствующих субъектов все более очевидно становится одной из условий успешного осуществления ими предпринимательской и иной экономической деятельности, поскольку без должного обеспечения прав и охраняемых законом интересов достичь реальное экономическое благополучие представляется проблематичным. Анализ законодательства о средствах массовой информации и судебной практики разрешения дел по искам о защите деловой репутации выявил ряд вопросов, требующих разрешения, как на законодательном уровне, так и на практике. Остановимся на некоторых из них. Согласно части 1 статьи 65 АПК РФ каждое лицо, участвующее в деле, должно доказать обстоятельства, на которые оно ссылается как на основания своих требований-4. Как исключение из данного правила можно рассматривать содержащиеся в части 1 статьи 152 ГК РФ нормы о возложении бремени доказывания соответствия действительности распространенных сведений на распространившее эти сведения лицо. Аналогичный порядок предусмотрен и пунктом 9 Постановления Пленума Верховного Суда Российской Федерации № 3 от 24.02.2005 г. -5. Иными словами, доказывать правдивость таких сведений должен тот, кто их распространил. Между тем, представляется, что в случае, когда гражданином, в отношении которого средством массовой информации опубликованы соответствующие действительности сведения, ущемляющие его права и охраняемые законом интересы, оспаривается отказ редакции средства массовой информации опубликовать его ответ на данную публикацию, гражданин (юридическое лицо) обязан сам доказать, что распространенные сведения ущемляют его права и охраняемые законом интересы. При этом следует обратить внимание, что предметом доказывания при разрешении таких споров могут быть только сведения, которыми утверждаются либо опровергаются фактические обстоятельства. Статьей 29 Конституции Российской Федерации гарантированы свобода выражения мнения и свобода слова. Статья 47 Закона Российской Федерации «О средствах массовой информации» предоставляет журналисту право излагать свои личные суждения и оценки в сообщениях и материалах, предназначенных для распространения за его подписью-6. Представляется, что при изучении наличия распространения сведений, необходимо различать имеющие место утверждения о фактах, которые можно проверить на предмет соответствия действительности, и оценочные суждения, мнения, убеждения, которые не могут быть предметом судебной защиты в порядке, предусмотренном статьей 152 ГК РФ. Оценочные суждения, мнения, убеждения являются выражением субъективного мнения и взгляда лица, их распространивших, и проверка их на предмет соответствия действительности на практике не представляется возможным. Исходя из смысла статьи 152 Кодекса защита деловой репутации путем опровержения возможна при одновременном наличии трех условий: сведения должны быть распространены; распространенные сведения не соответствуют действительности; распространенные сведения должны порочить деловую репутацию истца. При отсутствии же одного из условий, требования истца об опровержении сведений не подлежат удовлетворению. Представляется, что при рассмотрении таких споров следует оценить соответствие опубликованной информации, суждений фактическим обстоятельствам дела не только в рамках одного или нескольких предложений, а в контексте всего текста. Средства массовой информации в обоснование своих доводов могут сослаться на положения статьи 29 Конституции Российской Федерации и статьи 47 Закона РФ «О средствах массовой информации». Между тем, реализация средствами массовой информации своего права, предусмотренного вышеназванными нормами, под видом личных суждений, мнений, оценки журналиста не должна быть осуществлена за счет ущемления прав и охраняемых законом интересов других лиц, в противном случае будут нарушены положения статьи 17 Конституции Российской Федерации, согласно которой в Российской Федерации признаются и гарантируются права и свободы человека и гражданина согласно общепризнанным принципам и нормам международного права и в соответствии с Конституцией. При этом осуществление прав и свобод человека и гражданина не должно вести к нарушению прав и свобод других лиц. Одной из гарантий соблюдения права гражданина и юридического лица являются положения части 3 статьи 152 ГК РФ, согласно которой гражданин, в отношении которого средством массовой информации опубликованы сведения, ущемляющие его права и охраняемые законом интересы, имеет право на опубликование своего ответа в тех же средствах массовой информации. Иными словами, в случае, если в средствах массовой информации опубликованы материалы, которые по своей сути являются оценочным суждением, мнением, убеждением гражданин или юридическое лицо, руководствуясь положением части 3 статьи 152 ГК РФ вправе требовать опубликование своего ответа в целях обоснования несостоятельности распространенных суждений, предложив их иную оценку. Представляется, что в случае же отказа редакции средства массовой информации опубликовать его ответ гражданин или юридическое лицо вправе обратиться в суд (арбитражный суд) с иском об обязании опубликовать его ответ. Такое право у него вытекает из положений статьи 46 Закона РФ «О средствах массовой информации». Как правило, удовлетворяя исковые требования, арбитражный суд в решении указывает о признании не соответствующими и порочащими деловую репутацию хозяйствующего субъекта сведений и об обязании ответчика опубликовать опровержение указанных сведений в том же средстве массовой информации, тем же шрифтом, в том же объеме. Здесь возникают следующие вопросы. Действующее законодательство не регулирует, каким образом должно последовать опровержение. Указанные в Законе нормы о возложении обязанности опровержение таких сведений на ответчика означает лишь обязанность ответчика опубликовать опровержение за его счет. А о содержании опровержения законодатель умалчивает. Так, исполняя решение Арбитражного суда Республики Татарстан об опровержении распространенных сведений, Редакция газеты заново опубликовала ту же статью, в том же месте газеты, а в конце указала, что изложенные в данной статье сведения согласно решению Арбитражного суда Республики Татарстан не соответствуют действительности и порочат деловую репутацию Акционерного общества-7. Представляется, что в данном случае нельзя вести речь о восстановлении нарушенного права, поскольку как первый раз, когда ответчик опубликовал такие сведения, так и во второй раз, публикуя эти же сведения, дважды нарушил права истца, а опровержение последовало лишь один раз. В целях обеспечения полного восстановления нарушенного права при разрешении споров данной категории необходимо предоставить возможность истцу самому представить текст опровержения на опубликованные сведения, с тем, чтобы суд при удовлетворении исковых требований обязал ответчиков за их счет опубликовать их в средствах массовой информации. Такая позиция вытекает из норм, содержащихся в статье 43 Закона РФ «О средствах массовой информации», согласно которым гражданин или юридическое лицо вправе потребовать от средства массовой информации опровержения не соответствующей действительности и порочащих честь, достоинство и деловую репутацию сведений. Подтверждением такой позиции служит решение Арбитражного суда Республики Татарстан от 14.09.2003 г. по защите деловой репутации, согласно которому суд обязал редакцию газеты опубликовать подготовленный истцом текст опровержения-8, а также заявленные требования истца об обязании ответчика опубликовать представленный текст опровержения по делу о защите деловой репутации предпринимателя Г.-9. В связи с этим на практике возникают вопросы. Должен ли суд при разрешении спора давать оценку представленному истцом тексту опровержения, проверяя правильность изложенных в нем сведений. Если да, то не превратится ли это в отдельное судебное разбирательство. Если нет, тогда как быть, если опубликованный по решению суда текст опровержения содержит не соответствующие действительности и порочащие деловую репутацию уже ответчика сведения? Вправе ли он в этом случае оспорить эти сведения в судебном порядке? Возможно ли удовлетворение его требований, поскольку опровергаемые сведения опубликованы по решению суда? Представляется, что суд должен дать оценку представленному истцом тексту опровержения на предмет соответствия действительности изложенных в нем сведений. В случае удовлетворения исковых требований текст опровержения должен быть указан в исполнительном листе для принудительного исполнения в случае, если должник добровольно не исполнит решение суда. Это приведет к своевременному и правильному исполнению решения суда, следовательно, восстановлению нарушенного права. Кроме того, в случае, если ответчик обратится в суд о признании не соответствующими действительности и порочащими деловую репутацию сведений, изложенных в тексте опровержения, которое опубликовано по решению суда, такое требование не подлежит удовлетворению в порядке, предусмотренном статьей 152 Гражданского кодекса Российской Федерации, поскольку для обжалования судебного акта, в котором содержатся оспариваемые сведения, предусмотрен иной установленный законом порядок. Также возникает следующий вопрос, связанный восстановлением нарушенного права. Причем гарантированное Конституцией РФ право средств массовой информации на свое мнение, суждение, оценку принятому судебному акту. Например, когда рядом с текстом опровержения Редакция газеты публикует комментарий, а изложенные в тексте сведения, в свою очередь, могут быть предметом еще одного судебного разбирательства. Представляется, что, комментируя опровержения, средства массовой информации, таким образом, ревизирует вступившее в законную силу решение суда, что, в свою очередь, снижает значение и значимость такого важного института, как восстановление нарушенного права путем опровержения не соответствующих действительности и порочащих деловую репутацию хозяйствующего субъекта сведений. Чтобы не допустить такого положения и впредь необходимо внести в статью 44 Закона Российской Федерации «О средствах массовой информации» изменения, дополнив статью 44 четвертой частью следующего содержания: «Редакция средства массовой информации не вправе комментировать опровержение, опубликованное по решению суда (арбитражного суда)». Такое дополнение не является ущемлением права на свободу слова, мнений, не противоречит положениям Конституции Российской Федерации и соответствует положениям части 2 статьи 10 Конвенции о защите прав человека и основных свобод. Более того, такое дополнение в Закон РФ «О средствах массовой информации» будет способствовать правовому воспитанию в нашей стране в духе уважения к закону и личности человека и гражданина. 1) Конституция Российской Федерации. 2) Конвенция о защите прав человека и основных свобод (Рим, 4.11.1950, с изменениями от 21.09.1970 г., 20.12.1971 г., 1.01.1990 г., 6.11.1990 г., 11.05.1994 г.). 3) Гражданский кодекс Российской Федерации, часть 1 от 30.11.94 г, 4) Арбитражный процессуальный кодекс Российской Федерации от 24.07.2002г. 5) Постановление Пленума Верховного Суда Российской Федерации № 3 от 24.02.2005 г. «О судебной практике по делам о защите чести и достоинства граждан, а также деловой репутации граждан и юридических лиц». 6) Закон Российской Федерации «О средствах массовой информации». 7) Архив Арбитражного суда Республики Татарстан. 8) Архив Арбитражного суда Республики Татарстан. 9) Архив Арбитражного суда Республики Татарстан. Заместитель Председателя Арбитражного суда РТ, соискатель кафедры гражданского права и процесса КГУ, заслуженный юрист РТ Сахапов Ю.З.

Лазеры с разрядной накачкой с ультрафиолетовой предионизацией на XeF, KrF и ArF (журнальная статья)

Лазеры с разрядной накачкой с ультрафиолетовой предионизацией на XeF, KrF и ArF (журнальная статья) | ОСТИ.GOV

перейти к основному содержанию

• Полная запись
• Другое связанное исследование

Лазеры на XeF, KrF и ArF возбуждались в поперечном электрическом разряде с предварительной ионизацией в ультрафиолетовом диапазоне. Энергия лазерного импульса превышает 100 мДж с пиковой мощностью в несколько мегаватт с электрическим КПД более 1%. (АИП)

Авторов:

Бернхэм, Р.; Джеу, Н

Дата публикации:

1976-12-01

Исследовательская организация:

Science Application Incorporated, Арлингтон, Вирджиния 22202

Идентификатор ОСТИ:

7259455

Тип ресурса:

Журнал Статья

Название журнала:

Заяв. физ. лат.; (США)

Дополнительная информация журнала:

Объем журнала: 29:11

Страна публикации:

США

Язык:

Английский

Тема:

42 МАШИНОСТРОЕНИЕ; ГАЗОВЫЕ ЛАЗЕРЫ; ВОЗБУЖДЕНИЕ; АРГОН ФТОРИДЫ; ЭФФЕКТИВНОСТЬ; ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ РАЗРЯДЫ; ИОНИЗАЦИЯ; КРИПТОН ФТОРИДЫ; СТИМУЛИРОВАННОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ; УЛЬТРАФИОЛЕТОВАЯ РАДИАЦИЯ; КСЕНОН ФТОРИДЫ; СОЕДИНЕНИЯ АРГОНА; ЭЛЕКТРОМАГНИТНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ; ЭМИССИЯ; ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ ПЕРЕХОДЫ; ФТОРИДЫ; СОЕДИНЕНИЯ ФТОРА; ГАЛИДЫ; ГАЛОГЕННЫЕ СОЕДИНЕНИЯ; КРИПТОНОВЫЕ СОЕДИНЕНИЯ; ЛАЗЕРЫ; ИЗЛУЧЕНИЕ; РЕДКИЕ ГАЗОВЫЕ СОЕДИНЕНИЯ; СОЕДИНЕНИЯ КСЕНОНА; 420300* — Машиностроение- Лазеры- (-1989)

---

Форматы цитирования

• MLA
• АПА
• Чикаго
• БибТекс

Бернхэм Р. и Дью Н. . Лазеры с разрядной накачкой и предионизированным ультрафиолетовым излучением в XeF, KrF и ArF . США: Н. П., 1976. Веб. дои: 10.1063/1.88934.

Копировать в буфер обмена

Burnham, R, & Djeu, N. Лазеры с разрядной накачкой и предионизированным ультрафиолетовым излучением в XeF, KrF и ArF . Соединенные Штаты. https://doi.org/10.1063/1.88934

Копировать в буфер обмена

Бернхэм, Р., и Джеу, Н. 1976. «Лазеры с разрядной накачкой с ультрафиолетовой предионизацией на XeF, KrF и ArF». Соединенные Штаты. https://doi.org/10.1063/1.88934.

Копировать в буфер обмена

@статья{osti_7259455,
title = {Лазеры с разрядной накачкой с ультрафиолетовой предионизацией на XeF, KrF и ArF},
автор = {Бернем, Р. и Джеу, Н.},
abstractNote = {Лазеры на XeF, KrF и ArF были возбуждены в поперечном электрическом разряде с предварительной ионизацией в ультрафиолетовом диапазоне. Энергия лазерного импульса превышает 100 мДж с пиковой мощностью в несколько мегаватт с электрическим КПД более 1%. (АИП)},
дои = {10,1063/1,88934},
URL = {https://www.osti.gov/biblio/7259455}, журнал = {прил. физ. лат.; (США)},
номер = ,
объем = 29:11,
место = {США},
год = {1976},
месяц = ​​{12}
}

Копировать в буфер обмена

---

https://doi.org/10.1063/1.88934

Найти в Google Scholar

Выполнить поиск в WorldCat, чтобы найти библиотеки, в которых может храниться этот журнал

---

Экспортировать метаданные

Сохранить в мою библиотеку

Вы должны войти в систему или создать учетную запись, чтобы сохранять документы в своей библиотеке.

Аналогичных записей в сборниках OSTI.GOV:

• Аналогичные записи

Характеристики травления эксимерного лазера KRF для микрообработки на кремниевом материале

Главная Прикладная механика и материалы Прикладная механика и материалы Vol. 780 Эффективность травления эксимерного лазера KRF…

Предварительный просмотр статьи

Резюме:

Эксимер-лазерная микрообработка позволяет нам преодолеть традиционные ограничения микрообработки на основе литографии и упростить процесс создания трехмерных (3D) микроструктур. канал места абляции и производительность их травления. Такие параметры, как частота, плотность потока и скорость, сохранялись постоянными. В этой статье мы представляем исследование параметрических характеристик кремния с использованием микрообработки эксимерным лазером KrF. В результате регистрировали изменение скорости травления по мере изменения двух основных параметров лазера (число лазерных импульсов и число проходов лазера). Оба параметра демонстрировали профиль отклонения, однако сравнение обоих графиков показало, что скорость травления падала более резко при изменении количества проходов лазера, а не количества импульсов.

Доступ через ваше учреждение

Вас также могут заинтересовать эти электронные книги

Предварительный просмотр

* — Автор, ответственный за переписку

использованная литература

[1] М. Дж. Маду, Основы микропроизводства: наука о миниатюризации: CRC Press, (2002).

[2] К. Лю, З. Николов и Дж. О, Эксимер-лазерная микрообработка KrF материалов МЭМС: характеристика и приложения, Журнал микромеханики и микроинженерии, том. 22, с.015012, (2012).

DOI: 10.1088/0960-1317/22/1/015012

[3] Дж. Ким и X. Сюй, Изготовление полимерных микрофлюидных устройств с помощью эксимерного лазера, Journal of Laser Applications, vol. 15, стр. 255-260, (2003).

DOI: 10. 2351/1.1585085

[4] М. Лапчина и М. Штуке, Быстрое изготовление прототипов систем гладких микрореакторных каналов из ПММА с помощью лазерной абляции ВУФ на длине волны 157 нм для применения в анализе генома и биотехнологии, в Трудах MRS, 1998, с.143.

DOI: 10.1557/proc-526-143

[5] Р. Вайдья, Л. М. Тендер, Г. Брэдли, М. Дж. О’Брайен, М. Коне и Г. П. Лопес, Лазерная абляция с компьютерным управлением: удобный и универсальный инструмент для создания микрошаблонов на биофункциональных синтетических поверхностях для приложений в биосенсорах и тканевой инженерии, Прогресс биотехнологии , том. 14, с.371-377, (1998).